万级净化车间的洁净度:洁净度10000级cleanliness class 10000(P2万级实验室即ISO7级)即大于等于0.5μm的尘粒数大于35000粒/m3 (35粒/L)到小于等于350000粒/m3(350粒/L);大于等于5μm的尘粒数大于300粒/m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒/m3(3粒/L)。
压差及温湿度控制:
1)温度:干盘管系统控制。
2)湿度:空调箱调节通过感测的信号,控制三通阀开度来调节空调箱盘管进水量。
3)正压:空调箱调节,根据静压感测的信号,自动调节空调箱马达变频器的频率,从而调节进入室内的新风量。
净化车间恒温恒湿运行原理:
制冷原理,当净化车间温度高于所设定温度两度以上(包括两度)之时,主机控制器会给与车间外机一个信号并且该信号可以使得车间外秒变冷凝器,同时车间内变为蒸发器给车间内降温,通过风机送至空调房间,达到制冷目的。
对于如净化车间的空调系统的加湿问题而言,净化车间常用的加湿方法有很多种,有淋水、湿膜、高压喷雾和超声波等水加湿,这些加湿方法属等焓加湿过程。而喷蒸汽、喷干蒸汽和电极(电热)加湿是向空调送风中喷蒸汽,其加湿方法属等温加湿过程。
从确保如净化车间内相对湿度的精度而言,上述的淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿方法其控制的精度不高,故当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时不采用。而采用喷干蒸汽和电热(电极)式加湿的方法,喷干蒸汽的加湿方法要注意干蒸汽加湿器有一个喷蒸汽效率的问题,并非喷入空调箱内的蒸汽全部加入到空调送风中,而其中有一部分变成凝结水排放出来。因此,净化车间选择干蒸汽加湿的加湿量时应考虑其喷蒸的效率。